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上海微电子,走ASML路线

采用1X千瓦/60Khz的超高重复频率二氧化碳激光打靶。

上海电气:母公司为上海电气控股集团有限公司,其持有上海微电子装备(集团)股份有限公司34.91%的股权,为上海微电子第一大股东

张江高科:持股上海微电子10.779%的股份;

东方明珠:间接持有上海微电子约2%股权;

茂莱光学:DUV光学透镜已供货上海微电子;

富创精密:国产半导体设备零部件龙头,已进入ASML供应链体系,切入上海微电子等国产半导体设备厂;

苏大维格:向上海微电子提供光刻机用的定位光栅产品.

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