一、
整机
1、上海微电子
张江高科技：持有上海微电子10.779%的股份。
上海电气：母公司是上海最大的微电子股东。
2、长春光机所
奥普光电：长春光机是公司的实际控制人。
二、
部件
1、光源
波长光电：光刻机平行光源系统。
福晶科技:中国科学院旗下提供激光器上的KBFF晶体。
茂莱光学：精密光学器件已应用于国产光刻机。
2、光学器件
苏大维格：为上海微电子提供定位光栅产品。
火炬技术：在光刻机曝光系统中提供核心元件光场匀化器。
腾景科技：多波段合分束器已进入微电子供应链。
京华激光：控股美国公司在光刻机微结构光学方面实力雄厚。
3、空气净化
美埃科技:国外企业供应商白名单提供最高清洁等级标准的设备。
4、物镜
赛微电子:MEMS透镜部件供应商是光刻机制造商。
5、结构件
富创精密:半导体零部件A股收入第一，12.9亿。
新莱应材：半导体零部件营收规模A股第二，为7.1亿。
金力泰：超微弧氧化技术可应用于光刻机设备零部件的表面处理，其子公司是上海微电子供应商。
电子数字：子公司可供应光刻机控制器
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