事件：
1)根据国家知识产权局的发布，上海微电子申请的光刻投影镜和光刻机专利申请已获批准并公告。
2)据彭博社报道，除了试图实现5nm的里程碑外，中国还可能测试新材料或先进芯片的包装，以制造更强大的半导体。
3)广州开发区、黄埔区:鼓励开发光刻胶、抛光材料、高纯靶材、光芯片等高端半导体制造材料。
解读：
根据“02专项计划”，我国光刻机研发工作也采用了类似的“Out House“R&D模式，上海微电子负责整机的设计和集成，另外五家企业负责R&D不同核心部件的光刻机，科益虹源负责光源系统，国望光学负责物镜系统，国科精密负责曝光系统，华卓精科负责双工作台，启尔机电负责浸没系统。
值得一提的是，这五家核心零部件研发企业与中国顶尖大学关系密切，代表了中国顶尖半导体研发实力。
上海微电子核心概念股：
张江高科技:公司通过子公司上海张江浩成风险投资有限公司投资上海微电子设备有限公司22345万元，持有微装公司10.779%的股权。
上海电气：母公司上海电气控股集团是上海最大的微电子股东。
美埃科技有限公司是上海微电子设备(集团)有限公司开发的国内首家 28 纳米光刻设备工艺工艺所需的国际最高清洁等级标准（ISO Class 1 提供清洁环境 EFU (超薄设备端自带风机过滤机组) ULPA(超高效过滤器)等产品也通过了验收，帮助国内光刻机突破了卡颈技术问题。
海利股份：海利集团与微电子设备集团就项目合作和产品配套设施进行了深入讨论。双方从包装光刻机冷却系统配套设施入手，进一步提高合作水平，逐步从零部件级供应合作升级为系统级供应合作。
聚光科技：公司的光场匀化器产品应用于国内主要的光刻机研发项目和样机。
富创精密:公司结构部件(基板、冷却板等。)用于光刻机和涂胶显影设备，主要客户有上海微电子和芯源微。
腾景科技：公司合分束器项目应用于光刻机光学系统，可满足国内替代进口的需要。主题早上8点
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