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相关公司:

1)上海微电子相关:

张江高科技:持有上海微电子(国内唯一从事高端光刻机研产销的企业)9.0888%的股权。

上海电气:母公司是上海最大的微电子股东;

东方明珠:持有21.33%股份的子公司上海信息投资间接持有上海微电子股份;

2)上海微电子供应商

苏大维格:公司为上海微电子提供定位光栅产品;

茂莱光学:DUV光学透镜已向上海微电子供应;

海立股份:为上海微电子想关设备提供冷却配套系统,已实现供货;

聚光科技:为上海微电子提供半导体激光退火系统和核心部件;

美埃科技:公司为上海微电子提供EFU、ULPA等产品;

富创精密:已切入上海微电子等国产半导体设备厂;

3)长春光机所相关公司:

奥普光电:余恒光学半导体领域的光栅尺已完成小批量验证。公司是唯一一家上市公司(承担EUV光刻机研发任务,取得了包括核心光源系统在内的突破)。

大理科技,凌云光。

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