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天丰证券:半导体射频电源专题:激荡频波,控势而行!

射频电源:高科技壁垒核心部件。射频电源是一种高频交流电源,可以产生300kHz-300mHz的频率。虽然射频频段很宽,但半导体设备中使用的射频电源的工作频率通常是 2MHz 至 60MHz 之间。核心技术的难点在于参数稳定性、控制精度和阻抗匹配。随着技术的不断发展,市场将逐步向高频、高功率、小型化和能效方向发展。

应用射频电源:

一、半导体:刻蚀、膜沉积、干法清洗、离子注入等。

2)光伏:PECVD、RPD等。

3)面板:TFT阵列、CELL成盒制作等。

半导体射频电源市场:国外龙头企业垄断,市场集中度高。2022年,全球半导体射频电源市场销售额达到7.26亿美元,预计2029年将达到14.57亿美元,年复合增长率(CAGR)11.18%(2023-2029)。2022年,中国市场(含中国台湾省)市场规模为96.6百万美元,约占全球市场的13.31%。2022年,世界第一梯队制造商主要拥有1万台机器和美国优秀仪器(AE)、日本大阪变压器有限公司的市场份额约为52.95%。

如何发展海外半导体射频电源公司:

MKS:为半导体行业提供环形等离子体源的人,为FinFET开发自适应脉冲技术,为一致脉冲提供射频功率。

AE:everest系列射频等离子体发生器更稳定,Navigator更快更准确 II系列射频匹配网络,专有算法PowerInsight应对匹配网络生命周期的不确定性。深入培育全射频传输系统,为各种工艺提供不同的产品匹配方案。

DAIHEN:半导体制造设备的射频发生器于1986年开始生产,内部等离子体评估室用于技术开发(如脉冲输出和频率调整)、产品性能评估和功能改进。

相关标的:英杰电气、爱科赛博、北方华创等。

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