1.赛微电子
子公司Silex主要提供MEMS反射镜，为全球领先的光刻公司提供微镜系统，是该公司微镜的主要供应商
2.福晶科技
中国科学院福建物业研究所控股，间接供应ASML。子公司“到期光子”专注于纳米精度的超精密光学元件制造和复杂光机组件的研发，预计将在后期提供精密光学元件和晶体
3.奥普光电
中国科学院院长光控股，国内高端光栅编码器领先，布局超精尺，理论上可用于光刻机，预计后期将提供光栅编码器
4.茂莱光学
DUV光学透镜已应用于SMEE国产光刻机，半导体检测设备光学模块供应KLA
5.福光股份
国内航天光学镜头的重要供应商有望为光刻机等领域提供高精度光学镜头和光学系统
6.美埃科技
为SMEE开发28nm光刻机提供EFU(超薄设备端自带风机过滤机组和ULPA(超高效过滤器)，也是SMIC、STM、Intel等供应商
7. 波长光电
光刻机平行光源系统已成功开发，可用于国内光刻机领域的配套设施，并已交付多个系统用于接近掩膜芯片光刻工艺
具有提供光刻机配套大孔径光学镜头的能力，激光检测和测量相关产品进入半导体光刻领域配套检测行业
8.炬光科技
西安光机投资，供应给世界顶级光学公司，最终应用于ASML核心设备，也应用于国内主要光刻机研发项目和样机
9.腾景科技
光刻机光学系统中使用的合分束器处于样品验证阶段
10.苏大维格
为SMEE提供定位光栅部件，其周期精度小于1nm，纳米压印技术在中国处于领先地位
11.蓝英装备
SECH位于瑞士的二级子公司，为芯片制造的镜头和半导体生产提供精密清洗设备，为ASML提供精密清洗解决方案
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