顾名思义,晶圆载具用于装载晶圆,包括晶圆载具盒、晶圆传输盒和晶圆船。晶片储存在运输箱中的时间占整个生产过程的很大一部分。晶片盒本身的材料、质量和清洁度可能或多或少地影响晶片的质量。
晶片载体一般采用耐高温、机械性能优异、尺寸稳定性、耐久性、抗静电、低排气、低沉淀、可回收材料。PEEK可用于制造一般传输过程中使用的载具。一般采用抗静电PEEK。PEEK具有耐磨性、耐化学腐蚀性、尺寸稳定性、耐静电性和低放气性等优异性能,有助于防止颗粒污染。并提高芯片处理、存储和转移的可靠性。
材料包括:PEEK、PFA、PP、PES、PC、PEI、COP等,一般经过抗静电改性。
1.晶圆载具是硅片生产、晶圆制造、工厂间晶圆储存、运输和保护的重要半导体塑料制品。它是AMHS系统(材料自动处理)构建12英寸晶圆厂自动处理方案的必要部件,也是重要的半导体部件。
2.芯片在制造过程中,一般需要在三周内数百次往返于半导体生产线。晶圆储存在运输箱中的时间在整个生产过程中占有很高的比例。因此,晶圆车辆是整个生产过程中必不可少的保护和运输工具。
3.芯片昂贵,容易受到误操作和污染的影响。晶圆车辆的材料、质量和清洁度可能对晶圆质量产生或大或小的影响,在芯片制造过程中起着重要作用。
4.昌红科技将其在精密模具、配套自动化设备设计制造、塑料加工三个方面的核心技术相结合,创造了“一站式”的整体解决方案能力,并将其应用于OA结构件、医用聚合物塑料耗材、半导体耗材部件三个应用领域。2022年,昌红与鼎龙合作,进入中高端晶圆车辆产品市场。
5.目前,公司晶圆车辆生产厂已建成,公司半导体晶圆车辆业务部分产品已向客户送样。经客户验证后,将逐步批量生产,预计将打开新的增长曲线。
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